Термостабільні фторовані ароматичні поліетери як матеріали для сучасної мікроелектроніки

Розроблено способи синтезу фторованих поліарилових етерів (ФПАЕ) лінійної та сітчастої гібридної органо-неорганічної структури, які характеризуються високою термостабільністю. На основі отриманих ФПАЕ сформовані гнучкі і міцні плівки, які мають низькі значення діелектричної проникності та діелектричних втрат. Це дозволяє їхнє використання як міжшарових діелектриків в пакетах мультиінтегральних схем для сучасної мікро- та наноелектроніки, зокрема при виробництві друкованих плат (printed circuit board) для технології зв’язку 5G.

Література

1. I.M. Tkachenko, Yu. Kononevich, Ya.L. Kobzar, O. Purikova, Yu. Yakovlev, I. Khalakhan, A. Muzafarov, V.V. Shevchenko. Low dielectric constant silica-containing cross-linked organic-inorganic materials based on fluorinated poly(arylene ether)s. Polymer, 2018, V. 157, P. 131-138. https://doi.org/10.1016/j.polymer.2018.10.035

2. I.M. Tkachenko, Ya.L. Kobzar, Yu.V. Yakovlev, O.V. Shekera, V.V. Klepko, V.V. Shevchenko. Synthesis of perfectly alternating and statistical meta-linked fluorinated poly (arylene ether) copolymers containing octafluorobiphenylene and trifluoromethyl units. Macromolecular Research, V. 25, P. 112-119. https://doi.org/10.1007/s13233-017-5012-1

3. I.М. Tkachenko, N.A. Belov, Yu.V. Yakovlev, P.V. Vakuliuk, О.V. Shekera, Yu.P. Yampolskii, V.V. Shevchenko. Synthesis, gas transport and dielectric properties of fluorinated poly (arylene ether)s based on decafluorobiphenyl. Materials Chemistry and Physics, 2016, V. 183, P. 279-287. https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2016.08.028

На попередню сторінку