Tермостабільні гідрофобні фторовані полібензоксазини з низькими діелектричними характеристиками

Запропоновано введення до складу полібензоксазинів, причому, вже на стадії дизайну мономерів, гнучких ароматичних фрагментів в такій формі, щоб одночасно забезпечити реалізацію гнучкості монолітних плівок з наданням ряду підвищених характеристик при збереженні їхньої термостабільності. Даний підхід реалізовано синтезом нових мономерів шляхом введення до їх складу діоксиперфторароматичних ланок з різною ізомерією розташування бензоксазинових циклів. Їх переробка за відсутності розчинника дозволила отримати вільні гнучкі плівки з характеристиками, що дозволяють розглядати  їх  перспективними, насамперед для використання як міжшарових діелектриків в пакетах мультиінтегральних схем в мікро- та наноелектроніці.

Література

Ya.L. Kobzar, I.M. Tkachenko, V.N. Bliznyuk, Eu.V. Lobko, O.V. Shekera, V.V. Shevchenko. Synthesis and characterization of fluorinated isomeric polybenzoxazines from core-fluorinated diamine-based benzoxazines. Polymer, 2018, V. 145, P. 62-69. https://doi.org/10.1016/j.polymer.2018.04.070

На попередню сторінку